IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing (T-SCM)
Volltext online seit: | Jg. 1, Heft 1, 1988 |
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Verlag: | Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE) |
Erscheinungsweise: | Volltext, Online und Druckausgabe |
Kosten: | kostenpflichtig |
ISSN (Onlineausgabe): | 1558-2345 |
ISSN (Druckausgabe): | 0894-6507 |
Anmerkung: | Volltextzugang via IEEE/IEE Electronic Library (IEL) |
ZDB-Nummer: | 2035198-7 |